研究室简介

实验室前身为1985年成立的中科院离子束开放实验室,历经30余年努力,突破了4-8英寸SOI硅片和12英寸大硅片关键技术并实现产业化,实验室将进一步开展硅基二维...

科研装备
导师信息
  • 王曦

  • 俞跃辉

  • 邹世昌

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